标签：EUV

韩媒：韩国本土企业在EUV光刻技术方面取得重大进展

2020-11-16kuju阅读(1382)评论(0)赞(0)

集微网消息，据businesskorea报道，韩国本土企业在EUV光刻技术方面取得重大进展。韩国知识产权局(KIPO)发布的《过去10年(2011-2020年)专利申请报告》显示，2014年，向韩国知识产权局(KIPO)提交的与EUV光刻...